洁净室的污染源可分为外污染源和内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及供水、溶剂等；而内污染源则包括制造设备、工作人员、工具、加工制造、工作桌、包装材料等。

对污染源的控制，其基本原则有以下四点：

1、 防止外部尘埃侵入：

洁净室内应保持适当的正压（＞5Pa）；做好施工工程的不漏气；人员设备、原材料搬入洁净室前先做好清洁擦拭等防尘工作，空气过滤器的管理和设置等。

2、 防止室内发尘：

主要控制：无尘室的墙、地板等无尘室材料的适当选用、制造设备的发尘控制、洁净室内的员工管理、洁净服的管理、使用洁净室专用器件等。

3、 室内发尘不积留：

墙壁体应光滑去死角、洁净室需定期保养和清扫、设备四周应留有空间。

4、 及时去除空间尘粒：

换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。

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